Impact of effective capacitance area on the characterization of SOI Wafers by Split-C(V) in Pseudo-MOSFET configuration

  1. Fernandez, C.
  2. Diab, A.
  3. Rodriguez, N.
  4. Ohata, A.
  5. Allibert, F.
  6. Ionica, I.
  7. Gamiz, F.
  8. Cristoloveanu, S.
Actas:
IEEE 2012 International Semiconductor Conference Dresden-Grenoble, ISCDG 2012

ISBN: 9781467317177

Año de publicación: 2012

Páginas: 123-126

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/ISCDG.2012.6360040 GOOGLE SCHOLAR