Equivalent oxide thickness of trigate SOI MOSFETs with high-κ insulators

  1. Ruiz, F.J.G.
  2. Tienda-Luna, I.M.
  3. Godoy, A.
  4. Donetti, L.
  5. Gámiz, F.
Aldizkaria:
IEEE Transactions on Electron Devices

ISSN: 0018-9383

Argitalpen urtea: 2009

Alea: 56

Zenbakia: 11

Orrialdeak: 2711-2719

Mota: Artikulua

DOI: 10.1109/TED.2009.2030713 GOOGLE SCHOLAR