Direct and trap-assisted elastic tunneling through ultrathin gate oxides

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Zeitschrift:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Datum der Publikation: 2002

Ausgabe: 91

Nummer: 8

Seiten: 5116-5124

Art: Artikel

DOI: 10.1063/1.1461062 GOOGLE SCHOLAR

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