A new ISFET technology with back contacts using deep diffusions

  1. Hernández, P.R.
  2. Leija, L.
  3. Valdés, F.
  4. Aceves, M.
  5. Remolina, J.
  6. Osorio, R.
Revista:
Sensors and Actuators, B: Chemical

ISSN: 0925-4005

Año de publicación: 1997

Volumen: 40

Número: 2-3

Páginas: 155-159

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/S0925-4005(97)80255-9 GOOGLE SCHOLAR