Preparation of highly oriented polycrystalline AlN thin films deposited on glass at oblique-angle incidence
- Rodríguez-Navarro, A.
- Otaño-Rivera, W.
- García-Ruiz, J.M.
- Messier, R.
- Pilione, L.J.
ISSN: 0884-2914
Año de publicación: 1997
Volumen: 12
Número: 7
Páginas: 1689-1692
Tipo: Artículo