Estrategias y metodologia para el test parametrico de tecnologias microelectronicas

Laburpena

Este trabajo se enmarca dentro de las tecnologias microelectronicas, y mas concretamente, dentro de las tecnicas de caracterizacion de dichas tecnologias. El trabajo realizado se puede dividir en dos apartados generales. Primero establece estrategias para la caracterizacion electrica, a traves de un sistema de test parametrico, de diversas tecnologias microelectronicas y despues para desarrollar y mejorar diversos metodos para la obtencion de parametros de interes mediante tecnicas de caracterizacion electrica. Entre los resultados obtenidos en la caracterizacion se pueden mencionar aspectos como el rendimiento o el matching de dispositivos. Ademas se estudia en detalle la caracterizacion de contactos ohmicos, campo en el cual se han realizado diferentes contribuciones de interes acerca de las correcciones que es necesario efectuar en la resistencia de contacto para obtener la resistividad de contacto, que es el parametro que verdaderamente caracteriza la tecnologia de apertura de contactos.