Ti/TiN coatings for microfabricated cantilevers used in atomic force microscopy

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Revista:
Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

ISSN: 1071-1023

Año de publicación: 2000

Volumen: 18

Número: 3

Páginas: 1182-1186

Tipo: Artículo

DOI: 10.1116/1.591356 GOOGLE SCHOLAR
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