Microacelerometros de silicio
- PLAZA PLAZA JOSE ANTONIO
- Jaume Esteve Tintó Director/a
Universidad de defensa: Universitat Autònoma de Barcelona
Año de defensa: 1998
- Francisco Serra Mestres Presidente/a
- Joan Ramon Morante Lleonart Secretario/a
- Javier Gracía Gaudó Vocal
- Emilio Lora-Tamayo D'Ocón Vocal
- Gabriel Blázquez García Vocal
Tipo: Tesis
Resumen
En la tésis presentada se ha desarrollado tecnología para la fabricación de acelerómetros de silicio. Para ello se ha puesto a punto la técnica de la soldadura anódica con el desarrollo de un nuevo test de soldadura. Se ha conseguido obtener acelerómetros con buenas propiedades basados en la micromecanización en volúmen con ataque anisotrópico y paro electroquímico. Se ha diseñado una nueva tecnología basada en la utilización de obleas BESOI, que ha permitido obtener dispositivos con mejores prestaciones que los anteriores y con un sistema de protección de choques. Con esta tecnología se ha desarrollado un acelerómetro con un sistema de autotest y un nuevo acelerómetro triaxial con unas excelentes prestaciones. Por último también se han fabricado acelerómetros mediante micromecanización superficial con un elemento sensor basado en un transistor NMOS.