Determination of ad hoc deposited charge on bare SOI wafers

  1. Fernandez, C.
  2. Rodriguez, N.
  3. Marquez, C.
  4. Gamiz, F.
Colección de libros:
2015 JOINT INTERNATIONAL EUROSOI WORKSHOP AND INTERNATIONAL CONFERENCE ON ULTIMATE INTEGRATION ON SILICON (EUROSOI-ULIS)

ISSN: 2330-5738,  2472-9132

ISBN: 978-1-4799-6911-1

Año de publicación: 2015

Páginas: 289-292

Congreso: 2015 Joint International EUROSOI Workshop and International Conference on Ultimate Integration on Silicon

Tipo: Aportación congreso

GOOGLE SCHOLAR
Fuente de los datos: WoS