An Electrostatically Actuated Micro-electro-mechanical System
- Torres, PJ
ISSN: 2405-6405, 2405-6413
ISBN: 978-94-6239-106-2, 978-94-6239-105-5
Année de publication: 2015
Pages: 15-20
Type: Chapitre d'ouvrage
ISSN: 2405-6405, 2405-6413
ISBN: 978-94-6239-106-2, 978-94-6239-105-5
Année de publication: 2015
Pages: 15-20
Type: Chapitre d'ouvrage