Determination of effective capacitance area for pseudo-MOSFET based characterization of bare soi wafers by split-C(V) measurements

  1. Fernandez, C.
  2. Rodriguez, N.
  3. Ohata, A.
  4. Diab, A.
  5. Gamiz, F.
  6. Cristoloveanu, S.
Actas:
ECS Transactions

ISSN: 1938-5862,  1938-6737

ISBN: 9781607683780

Año de publicación: 2013

Volumen: 53

Número: 5

Páginas: 209-217

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1149/05305.0209ECST GOOGLE SCHOLAR
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