Impact of Ge content and recess depth on the leakage current in strained Si1-xGex/Si heterojunctions
- Luque Rodríguez, A.
- Bargallo Gonzalez, M.
- Eneman, G.
- Claeys, C.
- Kobayashi, D.
- Simoen, E.
- Jiménez Tejada, J.A.
ISSN: 0018-9383
Argitalpen urtea: 2011
Alea: 58
Zenbakia: 8
Orrialdeak: 2362-2370
Mota: Artikulua