Improved manufacturing process for printed cantilevers by using water removable sacrificial substrate
- Rivadeneyra, A.
- Fernández-Salmerón, J.
- Agudo-Acemel, M.
- López-Villanueva, J.A.
- Capitan-Vallvey, L.F.
- Palma, A.J.
Zeitschrift:
Sensors and Actuators, A: Physical
ISSN: 0924-4247
Datum der Publikation: 2015
Ausgabe: 235
Seiten: 171-181
Art: Artikel