Cantilever Fabrication by a Printing and Bonding Process

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Revista:
Journal of Microelectromechanical Systems

ISSN: 1057-7157

Año de publicación: 2015

Volumen: 24

Número: 4

Páginas: 880-886

Tipo: Artículo

DOI: 10.1109/JMEMS.2014.2356611 GOOGLE SCHOLAR
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