Geometrical analysis of a MEMS microphone

  1. Rivadeneyra, A.
  2. Martínez-Martí, F.
  3. Palma, A.J.
  4. Banqueri, J.
  5. Bernardo, R.M.
Actes:
2012 International Conference on Synthesis, Modeling, Analysis and Simulation Methods and Applications to Circuit Design, SMACD 2012

ISBN: 9781467306867

Any de publicació: 2012

Pàgines: 169-172

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1109/SMACD.2012.6339444 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus