Determination of ad hoc deposited charge on bare SOI wafers

  1. Fernandez, C.
  2. Rodriguez, N.
  3. Marquez, C.
  4. Gamiz, F.
Actas:
EUROSOI-ULIS 2015 - 2015 Joint International EUROSOI Workshop and International Conference on Ultimate Integration on Silicon

ISBN: 9781479969111

Año de publicación: 2015

Páginas: 289-292

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/ULIS.2015.7063830 GOOGLE SCHOLAR
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