Improved manufacturing process for printed cantilevers by using water removable sacrificial substrate

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Revista:
Sensors and Actuators, A: Physical

ISSN: 0924-4247

Año de publicación: 2015

Volumen: 235

Páginas: 171-181

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.SNA.2015.10.019 GOOGLE SCHOLAR
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