Geometrical analysis of a MEMS microphone

  1. Rivadeneyra, A.
  2. Martínez-Martí, F.
  3. Palma, A.J.
  4. Banqueri, J.
  5. Bernardo, R.M.
Actas:
2012 International Conference on Synthesis, Modeling, Analysis and Simulation Methods and Applications to Circuit Design, SMACD 2012

ISBN: 9781467306867

Año de publicación: 2012

Páginas: 169-172

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/SMACD.2012.6339444 GOOGLE SCHOLAR
Fuente de los datos: Scopus