Lamb wave micromechanical resonators formed in thin plates of lithium niobate

  1. Olsson, R.H.
  2. Hattar, K.
  3. Baker, M.S.
  4. Wiwi, M.
  5. Nguyen, J.
  6. Padilla, C.
  7. Homeijer, S.J.
  8. Wendt, J.R.
  9. Friedmann, T.A.
Actes:
Technical Digest - Solid-State Sensors, Actuators, and Microsystems Workshop

ISBN: 9781940470016

Any de publicació: 2014

Pàgines: 281-284

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.31438/TRF.HH2014.75 GOOGLE SCHOLAR lock_openAccés obert editor