Surface roughness at the Si-SiO2 interfaces in fully depleted silicon-on-insulator inversion layers

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Zeitschrift:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Datum der Publikation: 1999

Ausgabe: 86

Nummer: 12

Seiten: 6854-6863

Art: Artikel

DOI: 10.1063/1.371763 GOOGLE SCHOLAR