Surface roughness at the Si-SiO2 interfaces in fully depleted silicon-on-insulator inversion layers
ISSN: 0021-8979
Datum der Publikation: 1999
Ausgabe: 86
Nummer: 12
Seiten: 6854-6863
Art: Artikel
ISSN: 0021-8979
Datum der Publikation: 1999
Ausgabe: 86
Nummer: 12
Seiten: 6854-6863
Art: Artikel