Influence of Punch Trough Stop Layer and Well Depths on the Robustness of Bulk FinFETs to Heavy Ions Impact

  1. Calomarde, A.
  2. Manich, S.
  3. Rubio, A.
  4. Gamiz, F.
Revista:
IEEE Access

ISSN: 2169-3536

Any de publicació: 2022

Volum: 10

Pàgines: 47169-47178

Tipus: Article

DOI: 10.1109/ACCESS.2022.3171813 GOOGLE SCHOLAR lock_openAccés obert editor