Influence of Punch Trough Stop Layer and Well Depths on the Robustness of Bulk FinFETs to Heavy Ions Impact

  1. Calomarde, A.
  2. Manich, S.
  3. Rubio, A.
  4. Gamiz, F.
Zeitschrift:
IEEE Access

ISSN: 2169-3536

Datum der Publikation: 2022

Ausgabe: 10

Seiten: 47169-47178

Art: Artikel

DOI: 10.1109/ACCESS.2022.3171813 GOOGLE SCHOLAR lock_openOpen Access editor
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