Surface roughness at the Si-SiO2 interfaces in fully depleted silicon-on-insulator inversion layers

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Revista:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Año de publicación: 1999

Volumen: 86

Número: 12

Páginas: 6854-6863

Tipo: Artículo

DOI: 10.1063/1.371763 GOOGLE SCHOLAR
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